キタダ リョウジ   Kitada Ryouji
  北田 良二
   所属   崇城大学  工学部 機械工学科
   崇城大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   崇城大学大学院  工学研究科 機械システム工学専攻
   職種   教授
発表年月日 1995/06/08
発表テーマ [Refereed Conference Paper] Position Variations of Electron Energy Distributions and Its Important Roles in EBEP Apparatus
会議名 The Third International Symposium on Sputtering & Plasma Processes
主催者 International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP)
学会区分 国際学会
発表形式 その他
単独共同区分 共同
開催地名 Tokyo, Japan
発表者・共同発表者 Shunjiro Ikezawa, Shinya Izumi, Ryuichi Miyano, Ryoji Kitada and Akihiro Ito