キタダ リョウジ   Kitada Ryouji
  北田 良二
   所属   崇城大学  工学部 機械工学科
   崇城大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   崇城大学大学院  工学研究科 機械システム工学専攻
   職種   教授
発表年月日 1995/06/08
発表テーマ [Refereed Conference Paper] TiN Film Deposition and Its Control in EBEP Apparatus
会議名 The Third International Symposium on Sputtering & Plasma Processes
主催者 International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP)
学会区分 国際学会
単独共同区分 共同
開催地名 Tokyo, Japan
発表者・共同発表者 Ryuichi Miyano, Ryoji Kitada, Shinya Izumi and Shunjiro Ikezawa