イケダ アキヒロ   Ikeda Akihiro
  池田 晃裕
   所属   崇城大学  情報学部 情報学科
   崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻(博士前期課程)
   崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻(博士後期課程)
   職種   教授
取得国 国内
公開番号 2016-157911
公開年月日 2016/09/01
特許出願人 九州大学,富士電機(株)
発明者 九州大学(池田晃裕,池上浩,浅野種正) 富士電機(井口研一,中澤治雄,関康和)
特許名 不純物導入装置、不純物導入方法及び半導体素子の製造方法