イケダ　アキヒロ   Ikeda Akihiro   池田　晃裕    所属   崇城大学  情報学部 情報学科    崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻（博士前期課程）    崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻（博士後期課程）    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2017/11
形態種別	原著論文
査読	査読あり
標題	Increased doping depth of Al in wet-chemical laser doping of 4H-SiC by expanding laser pulse
執筆形態	共著
掲載誌名	MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
掲載区分	国外
巻・号・頁	70,pp.193-196
著者・共著者	Ikeda Akihiro, Marui Daichi, Sumina Rikuho, Ikenoue Hiroshi, Asano Tanemasa
DOI	10.1016/j.mssp.2016.11.036
ISSN	1369-8001