イケダ アキヒロ   Ikeda Akihiro
  池田 晃裕
   所属   崇城大学  情報学部 情報学科
   崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻(博士前期課程)
   崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻(博士後期課程)
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2013/06
形態種別 原著論文
標題 Phosphorus Doping into 4H-SiC by Irradiation of Excimer Laser in Phosphoric Solution
執筆形態 共著
掲載誌名 Jpn J Appl Phys
掲載区分国外
出版社・発行元 The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁 52(6),pp.06GF02-06GF02-4
著者・共著者 Nishi Koji, Ikeda Akihiro, Ikenoue Hiroshi, Asano Tanemasa
ISSN 00214922
NAID 40019677777