イケダ アキヒロ   Ikeda Akihiro
  池田 晃裕
   所属   崇城大学  情報学部 情報学科
   崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻(博士前期課程)
   崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻(博士後期課程)
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2001
形態種別 原著論文
査読 査読あり
標題 Inductively coupled plasma application to the resist ashing
執筆形態 共著
掲載誌名 Thin Solid Films
掲載区分国外
巻・号・頁 386,pp.160-164
著者・共著者 K. Takagi, A. Ikeda,T. Fujimura, Y. Kuroki