イケダ アキヒロ   Ikeda Akihiro
  池田 晃裕
   所属   崇城大学  情報学部 情報学科
   崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻(博士前期課程)
   崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻(博士後期課程)
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2009
形態種別 原著論文
査読 査読あり
標題 Electroless Ni-B plating on SiO2 with 3-aminopropyl- triethoxysilane as a barrier layer against Cu diffusion for through-Si via interconnections in a 3-dimensional multi-chip package
執筆形態 共著
掲載誌名 Thin Solid Films
掲載区分国外
巻・号・頁 517,pp.1740-1745
著者・共著者 A. Ikeda, A. Sakamoto, R. Hattori, Y. Kuroki