キタダ リョウジ   Kitada Ryouji
  北田 良二
   所属   崇城大学  工学部 機械工学科
   崇城大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   崇城大学大学院  工学研究科 機械システム工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2007/03
形態種別 原著論文
査読 査読有り
標題 Fabrication and Characterization of Smooth Si Mold for Hot Embossing Process
執筆形態 共著
掲載誌名 IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
掲載区分国内
出版社・発行元 The Institute of Electrical Engineers of Japan
巻・号・頁 127(3),pp.187-191
総ページ数 null
著者・共著者 Phuc Hong Pham, Dzung Viet Dao, Satoshi Amaya, Ryoji Kitada and Susumu Sugiyama