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イケダ アキヒロ
Ikeda Akihiro
池田 晃裕 所属 崇城大学 情報学部 情報学科 崇城大学大学院 工学研究科 応用情報学専攻（博士前期課程） 崇城大学大学院 工学研究科 応用情報学専攻（博士後期課程） 職種 教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2003 |
| 形態種別 | 原著論文 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Trap assisted leakage current conduction in thin silicon oxynitride films grown by rapid thermal oxidation combined microwave excited plasma nitridation |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Microelectronic Engineering |
| 掲載区分 | 国外 |
| 巻・号・頁 | 65,pp.357-370 |
| 著者・共著者 | R. Perera, A. Ikeda,R. Hattori, Y. Kuroki, |