イケダ　アキヒロ   Ikeda Akihiro   池田　晃裕    所属   崇城大学  情報学部 情報学科    崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻（博士前期課程）    崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻（博士後期課程）    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2010
形態種別	原著論文
査読	査読あり
標題	Effect of Argon/Hydrogen Plasma Cleaning on Electroless Ni Deposition on Small-Area Al Pads
執筆形態	共著
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分	国内
巻・号・頁	49,pp.08JA05-1-08JA05-4
著者・共著者	A. Ikeda, K. Kajiwara, N. Watanabe, T. Asano,