イケダ　アキヒロ   Ikeda Akihiro   池田　晃裕    所属   崇城大学  情報学部 情報学科    崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻（博士前期課程）    崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻（博士後期課程）    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2019/07
形態種別	原著論文
査読	査読あり
標題	Increasing Laser-Doping Depth of Al in 4H-SiC by Using Expanded-Pulse Excimer Laser
執筆形態	共著
掲載誌名	Materials Science Forum
掲載区分	国外
巻・号・頁	963,pp.412-415
著者・共著者	Akihiro Ikeda, Takashi Shimokawa, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano
DOI	doi:10.4028/www.scientific.net/MSF.963.412