イケダ アキヒロ   Ikeda Akihiro
  池田 晃裕
   所属   崇城大学  情報学部 情報学科
   崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻(博士前期課程)
   崇城大学大学院  工学研究科 応用情報学専攻(博士後期課程)
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2019/07
形態種別 原著論文
査読 査読あり
標題 High-Concentration, Low-Temperature, and Low-Cost Excimer Laser Doping for 4H-SiC Power Device Fabrication
執筆形態 共著
掲載誌名 Materials Science Forum
掲載区分国外
巻・号・頁 963,pp.403-406
著者・共著者 Kaname Imokawa, Toshifumi Kikuchi, Kento Okamoto,Daisuke Nakamura, Akihiro Ikeda, Tanemasa Asano, Hiroshi Ikenoue
DOI doi:10.4028/www.scientific.net/MSF.963.403