イケダ アキヒロ
Ikeda Akihiro
池田 晃裕 所属 崇城大学 情報学部 情報学科 崇城大学大学院 工学研究科 応用情報学専攻(博士前期課程) 崇城大学大学院 工学研究科 応用情報学専攻(博士後期課程) 職種 教授 |
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言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2019/07 |
形態種別 | 原著論文 |
査読 | 査読あり |
標題 | High-Concentration, Low-Temperature, and Low-Cost Excimer Laser Doping for 4H-SiC Power Device Fabrication |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Materials Science Forum |
掲載区分 | 国外 |
巻・号・頁 | 963,pp.403-406 |
著者・共著者 | Kaname Imokawa, Toshifumi Kikuchi, Kento Okamoto,Daisuke Nakamura, Akihiro Ikeda, Tanemasa Asano, Hiroshi Ikenoue |
DOI | doi:10.4028/www.scientific.net/MSF.963.403 |