キタダ リョウジ   Kitada Ryouji
  北田 良二
   所属   崇城大学  工学部 機械工学科
   崇城大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   崇城大学大学院  工学研究科 機械システム工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1995/10
形態種別 原著論文
査読 査読有り
標題 電子ビーム励起プラズマ装置によって生成したN2プラズマの質量スペクトル分析
執筆形態 共著
掲載誌名 電気学会論文誌A,基礎・材料・共通部門
掲載区分国内
出版社・発行元 電気学会
巻・号・頁 115(10),1034-1035頁
総ページ数 null
著者・共著者 宮野竜一,泉真也,北田良二,藤井基之,池沢俊治郎
概要 電子ビーム励起プラズマ装置によって生成された直流放電プラズマに対して、Q-Mass質量スペクトルを用いて活性粒子状態を分析した研究レターである。成膜等への応用を目的として窒素プラズマについて考察して、プラズマ状態の制御性を確認した。本報告では、実験およびデータ解析を担当した。