キタダ リョウジ   Kitada Ryouji
  北田 良二
   所属   崇城大学  工学部 機械工学科
   崇城大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   崇城大学大学院  工学研究科 機械システム工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1996/05
形態種別 原著論文
査読 査読有り
標題 電子ビーム励起プラズマを用いたイオンプレーティング法による窒化チタン膜の生成
執筆形態 共著
掲載誌名 電気学会論文誌A,基礎・材料・共通部門
掲載区分国内
出版社・発行元 電気学会
巻・号・頁 116(5),392-399頁
総ページ数 null
著者・共著者 宮野竜一,北田良二,泉真也,藤井基之,池沢俊治郎
概要 電子ビーム励起プラズマ装置により直流放電の窒素プラズマを生成して、イオンプレーティング法により窒化チタン薄膜を生成した。プラズマ条件を制御することで、膜質、膜厚が変化すること実験的に確認した。また、プラズマ状態と成膜特性の相関関係を考察して、成膜の制御性を示した。本報告では、実験、データ解析および論文執筆を担当した。