キタダ リョウジ   Kitada Ryouji
  北田 良二
   所属   崇城大学  工学部 機械工学科
   崇城大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   崇城大学大学院  工学研究科 機械システム工学専攻
   職種   教授
所属期間 1994/04~1996/03
学校種類区分 大学院
所在地 国内
学校・大学院名称 中部大学
学部・研究科名称 工学研究科
学科・専攻名 電気工学専攻
課程区分 修士
修了区分 修了
学位取得年月日 1996/03/23
取得学位名 修士(工学)
取得方法区分 課程
取得学位分野名 プラズマエレクトロニクス
学位論文名 電子ビーム励起プラズマのプロセスへの応用-TiN成膜とPoly-Siエッチング-