教員情報 - 北田　良二

キタダ　リョウジ Kitada Ryouji
北田　良二

所属工学部機械工学科

職種教授

著書・論文歴
1.	2015/07	論文	Study on Surface Characteristics of EDMed Surface with Nickel Powder Mixed Fluid Key Engineering Materials 656-657,375-380頁 (共著)
2.	2014/10	論文	Singulation Characteristics of Semiconductor Package using Pulsed Fiber Laser and SHG: YAG Laser International Journal of Electrical Machining (19),28-33頁 (共著)
3.	2011/05	論文	Surface Modification of Cemented Carbide by EB Polishing CIRP Annals - Manufacturing Technology 60 (1),575-578頁 (共著)
4.	2010/12	論文	大面積電子ビーム照射による超微粒子超硬合金の表面処理精密工学会誌 76 (12),1393-1397頁 (共著)
5.	2010/01	論文	型彫り放電加工面の離型性に関する基礎的研究　－離型性に及ぼす要因の解明－電気加工学会誌 44 (106),52-59頁 (共著)
6.	2010/01	論文	High Quality Laser Dicing of Semiconductor Package with a Single-mode Q-switched Fiber Laser International Journal of Electrical Machining (15),33-38頁 (共著)
7.	2008/07	論文	Cutting of Solid Type Molded Composite Materials by Q-switched Fiber Laser with High-performance Nozzle Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing 2 (4),651-660頁 (共著)
8.	2007/03	論文	Fabrication and Characterization of Smooth Si Mold for Hot Embossing Process IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 127 (3),187-191頁 (共著)
9.	2006/10	論文	Straight Movement of Micro Containers Based on Ratchet Mechanism and Electrostatic Comb-drive Actuators Journal of Micromechanics and Microengineering 16 (12),2532-2538頁 (共著)
10.	2006/07	論文	Design and Fabrication of Polymer Electrostatic Comb-Drive Actuators for Micro Conveyer Systems IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 126 (7),306-311頁 (共著)
11.	1997/07	論文	Influence of Electron Beam on Profile of Sheath Potentials in Electron-beam-excited Plasma Apparatus Plasma Sources Science and Technology 6 (4),551-560頁 (共著)
12.	1996/05	論文	電子ビーム励起プラズマを用いたイオンプレーティング法による窒化チタン膜の生成電気学会論文誌A，基礎・材料・共通部門 116 (5),392-399頁 (共著)
13.	1996/04	論文	Verification of Sheath Potential of Processing Plasma in an Electron-Beam-Excited Plasma Apparatus Using a Current Balance Equation Japanese Journal of Applied Physics 35 (Part1, No.4B),2427-2432頁 (共著)
14.	1996/02	論文	Sheath Potentials in the Accelerating Region of an Electron-Beam-Excited Plasma Apparatus Japanese Journal of Applied Physics 35 (Part2, No.2A),L174-L177頁 (共著)
15.	1995/10	論文	電子ビーム励起プラズマ装置によって生成したN₂プラズマの質量スペクトル分析電気学会論文誌A，基礎・材料・共通部門 115 (10),1034-1035頁 (共著)
16.	1995/04	論文	EBEP装置によって生成したN₂プラズマからの放射スペクトル電気学会論文誌A，基礎・材料・共通部門 115 (4),388-389頁 (共著)
17.	1994/07	論文	Production of High-Density Plasma in Electron-Beam-Excited Plasma Device Japanese Journal of Applied Physics 33 (Part1, No.7B),4239-4242頁 (共著)